ASTM F1711-96(2016)
采用四点探针法测量平板显示器制造用薄膜导体的薄层电阻的标准实施规程
Standard Practice for Measuring Sheet Resistance of Thin Film Conductors for Flat Panel Display Manufacturing Using a Four-Point Probe Method
- 标准号
- ASTM F1711-96(2016)
- 发布
- 1996年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 当前最新
- ASTM F1711-96(2016)
- 引用标准
- ASTM F390
- 适用范围
- 1.1 四点探针法可能会对被测薄膜造成破坏。因此，取样应靠近板的边缘或拐角处进行，因为此处薄膜是消耗性的。然后需要特殊的几何校正因子来得出真实的薄层电阻。
5.1.2 测试方法 F390 仅限于传统的共线探头布置，但交错的共线和方形阵列在特定情况下很有用。需要校正因子来考虑非常规的探头布置。
5.1.3 测试方法 F390 预期一种精密测试布置，其中探头支架和样品被刚性定位。没有相应的设备可用于测试大型玻璃或塑料基板。事实上，在平板显示器制造中，探针由操作员手持是很常见的。
5.1.4 鉴于 5.1.3 中提到的条件，很难确保均匀的探头间距不会因设备的粗暴操作而降低。所描述的相控方阵可以平均掉探头放置误差。
5.1.5 这种做法估计精确到以下级别。否则，可接受的精度可能会因探头摆动而降低（见 8.6.4）。
5.1.5.1 作为裁判方法，在使用前按照测试方法 F390 第 7 段和本实践第 8 段的程序对探头和测量设备进行检查和鉴定：测得的方块电阻的标准偏差 s ，RS，是≤ 0.01RS。
5.1.5.2 作为常规方法，按照测试方法 F390 第 7 段和本实践第 8 段的程序定期对探头和测量设备进行鉴定：测得的方块电阻 RS 的标准偏差 s 为 & #x2264； 0.02RS。 1.1 本实践描述了测量沉积在大型绝缘基板上的溅射导电薄膜的薄层电阻的方法，用于制造平板信息......