椭偏测量法. 第2部分: 散装材料模型; 德文和英文文本 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
因此,亟需发展一种全自动、快速、准确的新型椭偏数据分析方法。 针对以上问题,南开大学刘进超副教授和任梦昕副教授、许京军教授团队利用人工智能技术发明了一种新型的全自动椭偏分析系统(英文名称SUNDIAL,意为日晷)。该系统首先利用仿真数据进行训练,以学习椭偏参数和(n, κ, d)的基本对应关系;其次,由于仿真数据与实验数据存在一定差别,导致系统模型精度不够。...
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