Röntgenelektronenspektroskopie

Für die Röntgenelektronenspektroskopie gibt es insgesamt 78 relevante Standards.

In der internationalen Standardklassifizierung umfasst Röntgenelektronenspektroskopie die folgenden Kategorien: analytische Chemie, Zerstörungsfreie Prüfung, Umfangreiche elektronische Komponenten, Optik und optische Messungen, Elektrizität, Magnetismus, elektrische und magnetische Messungen, Halbleitermaterial, Längen- und Winkelmessungen.

German Institute for Standardization, Röntgenelektronenspektroskopie

DIN ISO 16129:2020-11 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgen-Photoelektronenspektroskopie – Verfahren zur Beurteilung der täglichen Leistung eines Röntgen-Photoelektronenspektrometers (ISO 16129:2018); Text auf Englisch
DIN ISO 16129:2020 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgen-Photoelektronenspektroskopie – Verfahren zur Beurteilung der täglichen Leistung eines Röntgen-Photoelektronenspektrometers (ISO 16129:2018); Text auf Englisch
DIN ISO 15472:2020-05 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektrometer – Kalibrierung von Energieskalen (ISO 15472:2010); Text auf Englisch
DIN ISO 15472:2020 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektrometer – Kalibrierung von Energieskalen (ISO 15472:2010); Text auf Englisch

British Standards Institution (BSI), Röntgenelektronenspektroskopie

BS ISO 16129:2018 Chemische Oberflächenanalyse. Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Verfahren zur Beurteilung der täglichen Leistung eines Röntgen-Photoelektronenspektrometers
BS ISO 16129:2012 Chemische Oberflächenanalyse. Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Verfahren zur Beurteilung der täglichen Leistung eines Röntgen-Photoelektronenspektrometers
BS ISO 19830:2015 Chemische Oberflächenanalyse. Elektronenspektroskopien. Mindestanforderungen an die Berichterstattung für die Peakanpassung in der Röntgenphotoelektronenspektroskopie
BS ISO 10810:2019 Chemische Oberflächenanalyse. Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Richtlinien zur Analyse
BS ISO 10810:2010 Chemische Oberflächenanalyse. Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Richtlinien zur Analyse
BS ISO 20903:2019 Chemische Oberflächenanalyse. Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Methoden zur Bestimmung von Spitzenintensitäten und erforderliche Informationen für die Ergebnisberichterstattung
BS ISO 14701:2018 Chemische Oberflächenanalyse. Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Messung der Siliziumoxiddicke
BS ISO 14701:2011 Chemische Oberflächenanalyse. Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Messung der Siliziumoxiddicke
BS ISO 16243:2011 Chemische Oberflächenanalyse. Aufzeichnung und Berichterstattung von Daten in der Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS)
BS ISO 18118:2015 Chemische Oberflächenanalyse. Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Leitfaden zur Verwendung experimentell ermittelter relativer Empfindlichkeitsfaktoren für die quantitative Analyse homogener Materialien
BS ISO 21270:2004 Chemische Oberflächenanalyse. Röntgenphotoelektronen- und Auger-Elektronenspektrometer. Linearität der Intensitätsskala
23/30461294 DC BS ISO 18118. Chemische Oberflächenanalyse. Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Leitfaden zur Verwendung experimentell ermittelter relativer Empfindlichkeitsfaktoren für die quantitative Analyse homogener Materialien

International Organization for Standardization (ISO), Röntgenelektronenspektroskopie

ISO 16129:2018 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgen-Photoelektronenspektroskopie – Verfahren zur Beurteilung der täglichen Leistung eines Röntgen-Photoelektronenspektrometers
ISO 16129:2012 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgen-Photoelektronenspektroskopie – Verfahren zur Beurteilung der täglichen Leistung eines Röntgen-Photoelektronenspektrometers
ISO 19830:2015 Chemische Oberflächenanalyse – Elektronenspektroskopie – Mindestberichtsanforderungen für die Peakanpassung in der Röntgenphotoelektronenspektroskopie
ISO 10810:2019 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Richtlinien für die Analyse
ISO 10810:2010 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Richtlinien für die Analyse
ISO/CD TR 18392:2023 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Verfahren zur Hintergrundbestimmung
ISO 14701:2018 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Messung der Siliziumoxiddicke
ISO 14701:2011 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Messung der Siliziumoxiddicke
ISO 13424:2013 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Berichterstattung über Ergebnisse der Dünnschichtanalyse
ISO/TR 19319:2003 Chemische Oberflächenanalyse – Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Bestimmung der lateralen Auflösung, des Analysebereichs und des vom Analysator betrachteten Probenbereichs
ISO 15470:2017 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Beschreibung ausgewählter instrumenteller Leistungsparameter
ISO 16243:2011 Chemische Oberflächenanalyse – Aufzeichnung und Berichterstattung von Daten in der Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS)
ISO 21270:2004 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronen- und Auger-Elektronenspektrometer – Linearität der Intensitätsskala
ISO/DIS 18118:2023 Chemische Oberflächenanalyse – Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Leitfaden zur Verwendung experimentell ermittelter relativer Empfindlichkeitsfaktoren für die quantitative Analyse homogener Materialien
ISO/FDIS 18118:2023 Chemische Oberflächenanalyse – Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Leitfaden zur Verwendung experimentell ermittelter relativer Empfindlichkeitsfaktoren für die quantitative Analyse homogener Materialien
ISO 20903:2019 Chemische Oberflächenanalyse – Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Methoden zur Bestimmung von Peakintensitäten und Informationen, die für die Ergebnisberichterstattung erforderlich sind

未注明发布机构, Röntgenelektronenspektroskopie

DIN ISO 16129 E:2020-01 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgen-Photoelektronenspektroskopie – Verfahren zur Beurteilung der täglichen Leistung eines Röntgen-Photoelektronenspektrometers
BS ISO 18516:2006(2010) Chemische Oberflächenanalyse – Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Bestimmung der lateralen Auflösung
DIN ISO 15472 E:2019-09 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektrometer – Kalibrierung von Energieskalen
BS ISO 21270:2004(2010) Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronen- und Auger-Elektronenspektrometer – Linearität der Intensitätsskala

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会, Röntgenelektronenspektroskopie

GB/T 41073-2021 Chemische Oberflächenanalyse – Elektronenspektroskopie – Mindestberichtsanforderungen für die Peakanpassung in der Röntgenphotoelektronenspektroskopie
GB/T 36401-2018 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Berichterstattung über Ergebnisse der Dünnschichtanalyse

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, Röntgenelektronenspektroskopie

GB/T 25184-2010 Verifizierungsmethode für Röntgenphotoelektronenspektrometer
GB/T 28632-2012 Chemische Oberflächenanalyse. Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Bestimmung der lateralen Auflösung
GB/T 19500-2004 Allgemeine Regeln für die röntgenphotoelektronenspektroskopische Analysemethode
GB/T 31470-2015 Standardpraxis zur Bestimmung der Probenfläche, die zum detektierten Signal in Auger-Elektronenspektrometern und einigen Röntgenphotoelektronenspektrometern beiträgt
GB/T 30704-2014 Chemische Oberflächenanalyse.Röntgenphotoelektronenspektroskopie.Richtlinien für die Analyse
GB/T 28893-2012 Chemische Oberflächenanalyse. Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Methoden zur Bestimmung von Peakintensitäten und Informationen, die für die Ergebnisberichterstattung erforderlich sind
GB/Z 32490-2016 Verfahren zur Bestimmung des Hintergrunds mittels Röntgenphotoelektronenspektroskopie für die chemische Oberflächenanalyse
GB/T 22571-2008 Chemische Oberflächenanalyse.Röntgenphotoelektronenspektrometer.Kalibrierung von Energieskalen
GB/T 29556-2013 Chemische Oberflächenanalyse. Schneckenelektronenspektroskopie und Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Bestimmung der lateralen Auflösung, des Analysebereichs und des vom Analysator betrachteten Probenbereichs
GB/T 28892-2012 Chemische Oberflächenanalyse.Röntgenphotoelektronenspektroskopie.Beschreibung ausgewählter instrumenteller Leistungsparameter
GB/T 21006-2007 Chemische Oberflächenanalyse.Röntgenphotoelektronen- und Auger-Elektronenspektrometer.Linearität der Intensitätsskala
GB/T 30702-2014 Chemische Oberflächenanalyse. Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgenphotoelektronenspektroskopie. Leitfaden zur Verwendung experimentell ermittelter relativer Empfindlichkeitsfaktoren für die quantitative Analyse homogener Materialien
GB/T 25188-2010 Dickenmessungen für ultradünne Siliziumoxidschichten auf Siliziumwafern. Röntgenphotoelektronenspektroskopie
GB/T 28633-2012 Chemische Oberflächenanalyse.Röntgenphotoelektronenspektroskopie.Wiederholbarkeit und Konstanz der Intensitätsskala

American Society for Testing and Materials (ASTM), Röntgenelektronenspektroskopie

ASTM E996-10(2018) Standardpraxis für die Meldung von Daten in der Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgen-Photoelektronenspektroskopie
ASTM E996-19 Standardpraxis für die Meldung von Daten in der Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgen-Photoelektronenspektroskopie
ASTM E995-16 Standardhandbuch für Hintergrundsubtraktionstechniken in der Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgen-Photoelektronenspektroskopie
ASTM E995-11 Standardhandbuch für Hintergrundsubtraktionstechniken in der Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgen-Photoelektronenspektroskopie
ASTM E996-04 Standardpraxis für die Meldung von Daten in der Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgen-Photoelektronenspektroskopie
ASTM E996-10 Standardpraxis für die Meldung von Daten in der Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgen-Photoelektronenspektroskopie
ASTM E2735-14(2020) Standardhandbuch für die Auswahl der für Röntgen-Photoelektronenspektroskopie-Experimente (XPS) erforderlichen Kalibrierungen
ASTM E2108-16 Standardpraxis zur Kalibrierung der Elektronenbindungsenergieskala eines Röntgenphotoelektronenspektrometers
ASTM E902-94(1999) Standardverfahren zur Überprüfung der Betriebseigenschaften von Röntgen-Photoelektronenspektrometern
ASTM E1523-97 Standardhandbuch für Ladungskontroll- und Ladungsreferenzierungstechniken in der Röntgen-Photoelektronenspektroskopie
ASTM E1523-15 Standardhandbuch für Ladungskontroll- und Ladungsreferenzierungstechniken in der Röntgen-Photoelektronenspektroskopie

Professional Standard - Electron, Röntgenelektronenspektroskopie

SJ/T 10458-1993 Standardhandbuch für den Umgang mit Proben in der Schneckenelektronenspektroskopie und Röntgenphotoelektronenspektroskopie
SJ/T 10714-1996 Standardverfahren zur Überprüfung der Betriebseigenschaften von Röntgenphotoelektronenspektrometern

Association Francaise de Normalisation, Röntgenelektronenspektroskopie

NF X21-071:2011 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Richtlinien für die Analyse.
NF X21-073*NF ISO 16243:2012 Chemische Oberflächenanalyse – Aufzeichnung und Berichterstattung von Daten in der Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS).
NF ISO 16243:2012 Chemische Analyse von Oberflächen – Datenprotokollierung und Berichterstattung durch Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS).

Korean Agency for Technology and Standards (KATS), Röntgenelektronenspektroskopie

KS D ISO 19319-2005(2020) Chemische Oberflächenanalyse – Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Bestimmung der lateralen Auflösung, des Analysebereichs und des vom Analysator betrachteten Probenbereichs
KS D ISO 15470-2005(2020) Chemische Oberflächenanalyse – Röntgen-Photoelektronenspektroskopie – Beschreibung ausgewählter instrumenteller Leistungsparameter
KS D ISO 19319:2005 Chemische Oberflächenanalyse – Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Bestimmung der lateralen Auflösung, des Analysebereichs und des vom Analysator betrachteten Probenbereichs
KS D ISO 18118-2005(2020) Chemische Oberflächenanalyse – Auger-Elektronenspektroskopie und Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Leitfaden zur Verwendung experimentell ermittelter relativer Empfindlichkeitsfaktoren für die quantitative Analyse von h
KS D ISO 21270:2005 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronen- und Auger-Elektronenspektrometer – Linearität der Intensitätsskala
KS D ISO 21270-2005(2020) Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronen- und Auger-Elektronenspektrometer – Linearität der Intensitätsskala
KS D ISO 19318-2005(2020) Chemische Oberflächenanalyse – Röntgen-Photoelektronenspektroskopie – Berichterstattung über Methoden zur Ladungskontrolle und Ladungskorrektur

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会, Röntgenelektronenspektroskopie

GB/T 22571-2017 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektrometer – Kalibrierung von Energieskalen

KR-KS, Röntgenelektronenspektroskopie

KS D ISO 15472-2003(2023) Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektroskopie – Kalibrierung der Energieskala

Group Standards of the People's Republic of China, Röntgenelektronenspektroskopie

T/CSTM 01199-2024 Mehrschichtiger Metallfilm – Mess- und Analyseverfahren der Schichtstruktur – Röntgenphotoelektronenspektroskopie