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RUSekundärionenmasse
Für die Sekundärionenmasse gibt es insgesamt 11 relevante Standards.
In der internationalen Standardklassifizierung umfasst Sekundärionenmasse die folgenden Kategorien: analytische Chemie, Halbleitermaterial.
Korean Agency for Technology and Standards (KATS), Sekundärionenmasse
- KS D ISO 17560-2003(2018) Chemische Oberflächenanalyse – Sekundärionen-Massenspektrometrie – Methode zur Messung der Bor-Tiefenverteilung in Silizium
- KS D ISO 14237-2003(2018) Analyse der Oberflächengeometrie – Sekundärionen-Massenspektrometrie – Methode zur Messung der Konzentration gleichmäßig in Silizium zugesetzter Boratome
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会, Sekundärionenmasse
- GB/T 40129-2021 Chemische Oberflächenanalyse – Sekundärionen-Massenspektrometrie – Kalibrierung der Massenskala für ein Flugzeit-Sekundärionen-Massenspektrometer
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, Sekundärionenmasse
- GB/T 29851-2013 Testmethode zur Messung von Bor und Aluminium in Siliziummaterialien für Photovoltaikanwendungen mittels Sekundärionen-Massenspektrometrie
- GB/T 29852-2013 Testmethode zur Messung von Phosphor, Arsen und Antimon in Siliziummaterialien für Photovoltaikanwendungen mittels Sekundärionen-Massenspektrometrie
British Standards Institution (BSI), Sekundärionenmasse
- BS ISO 13084:2011 Chemische Oberflächenanalyse. Sekundärionen-Massenspektrometrie. Kalibrierung der Massenskala für ein Flugzeit-Sekundärionen-Massenspektrometer
- BS ISO 13084:2018 Chemische Oberflächenanalyse. Sekundärionen-Massenspektrometrie. Kalibrierung der Massenskala für ein Flugzeit-Sekundärionen-Massenspektrometer
Professional Standard - Electron, Sekundärionenmasse
- SJ/T 11493-2015 Testverfahren zur Messung der Stickstoffkonzentration in Siliziumsubstraten mittels Sekundärionen-Massenspektrometrie
- SJ/T 11498-2015 Testverfahren zur Messung der Sauerstoffkontamination in stark dotierten Siliziumsubstraten mittels Sekundärionen-Massenspektrometrie
Japanese Industrial Standards Committee (JISC), Sekundärionenmasse
- JIS K 0157:2021 Chemische Oberflächenanalyse – Sekundärionen-Massenspektrometrie – Kalibrierung der Massenskala für ein Flugzeit-Sekundärionen-Massenspektrometer
International Organization for Standardization (ISO), Sekundärionenmasse
- ISO 13084:2011 Chemische Oberflächenanalyse – Sekundärionen-Massenspektrometrie – Kalibrierung der Massenskala für ein Flugzeit-Sekundärionen-Massenspektrometer