Silizium-Widerstandstest

Für die Silizium-Widerstandstest gibt es insgesamt 9 relevante Standards.

In der internationalen Standardklassifizierung umfasst Silizium-Widerstandstest die folgenden Kategorien: Halbleitermaterial, Prüfung von Metallmaterialien, Nichteisenmetalle, Elektrizität, Magnetismus, elektrische und magnetische Messungen.

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, Silizium-Widerstandstest

GB/T 6616-2009 Prüfverfahren zur Messung des spezifischen Widerstands von Halbleiterwafern oder des Schichtwiderstands von Halbleiterfilmen mit einem berührungslosen Wirbelstrommessgerät
GB/T 42271-2022 Prüfverfahren für den spezifischen Widerstand von halbisolierendem monokristallinem Siliziumkarbid durch berührungslose Messung

工业和信息化部, Silizium-Widerstandstest

SJ/T 11627-2016 Online-Testverfahren für den Widerstand von Siliziumwafern für Solarzellen

Korean Agency for Technology and Standards (KATS), Silizium-Widerstandstest

KS D 0260-1989(1994) PRÜFMETHODEN DES WIDERSTANDS EINKRISTALLER SILIZIUMWAFER MIT VIERPUNKTSONDE
KS C 0256-2002(2017) Prüfverfahren für den spezifischen Widerstand von Siliziumkristallen und Siliziumwafern mit einer Vierpunktsonde
KS C 0256-2002(2022) Prüfverfahren für den spezifischen Widerstand von Siliziumkristallen und Siliziumwafern mit einer Vierpunktsonde
KS D 0260-1999 PRÜFMETHODEN DES WIDERSTANDS EINKRISTALLER SILIZIUMWAFER MIT VIERPUNKTSONDE

Japanese Industrial Standards Committee (JISC), Silizium-Widerstandstest

JIS H 0602:1995 Prüfverfahren für den spezifischen Widerstand von Siliziumkristallen und Siliziumwafern mit einer Vierpunktsonde

Professional Standard - Electron, Silizium-Widerstandstest

SJ 1551-1979 Methode zur Messung des spezifischen Widerstands der Silizium-Epitaxieschicht (Kapazitäts-Spannungs-Methode) (vorläufig)