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Trägerdichte

Für die Trägerdichte gibt es insgesamt 2 relevante Standards.

In der internationalen Standardklassifizierung umfasst Trägerdichte die folgenden Kategorien: Halbleitermaterial.


American Society for Testing and Materials (ASTM), Trägerdichte

  • ASTM F1393-92(1997) Standardtestmethode zur Bestimmung der Nettoträgerdichte in Siliziumwafern durch Miller Feedback Profiler-Messungen mit einer Quecksilbersonde
  • ASTM F1392-00 Standardtestmethode zur Bestimmung von Nettoträgerdichteprofilen in Siliziumwafern durch Kapazitäts-Spannungsmessungen mit einer Quecksilbersonde




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