Kontakt-Dünnschichtsonde

Für die Kontakt-Dünnschichtsonde gibt es insgesamt 30 relevante Standards.

In der internationalen Standardklassifizierung umfasst Kontakt-Dünnschichtsonde die folgenden Kategorien: Keramik, analytische Chemie, Längen- und Winkelmessungen, Elektronische Anzeigegeräte, Oberflächenbehandlung und Beschichtung, Halbleitermaterial.

Japanese Industrial Standards Committee (JISC), Kontakt-Dünnschichtsonde

JIS R 1636:1998 Prüfverfahren für die Dicke feiner keramischer Dünnfilme – Filmdicke mittels Kontaktsonden-Profilometer

German Institute for Standardization, Kontakt-Dünnschichtsonde

DIN EN ISO 18452:2016-09 Feinkeramik (Hochleistungskeramik, Hochleistungskeramik) - Bestimmung der Dicke von Keramikfilmen mittels Kontaktsonden-Profilometer (ISO 18452:2005); Deutsche Fassung EN ISO 18452:2016
DIN EN 1071-1:2003 Hochleistungskeramik – Prüfverfahren für keramische Beschichtungen – Teil 1: Bestimmung der Schichtdicke mittels Kontaktsonden-Profilometer; Deutsche Fassung EN 1071-1:2003

ES-UNE, Kontakt-Dünnschichtsonde

UNE-EN ISO 18452:2016 Feinkeramik (Hochleistungskeramik, hochentwickelte technische Keramik) – Bestimmung der Dicke von Keramikfilmen mittels Kontaktsonden-Profilometer (ISO 18452:2005) (Genehmigt von AENOR im Juni 2016.)

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会, Kontakt-Dünnschichtsonde

GB/T 33826-2017 Messung der Nanofilmdicke auf Glassubstrat – Profilometrische Methode
GB/T 16857.5-2017 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) – Abnahme- und Überprüfungstests für Koordinatenmessgeräte (KMG) – Teil 5: KMGs, die Tastsysteme mit einem oder mehreren Stiftkontakten verwenden

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会, Kontakt-Dünnschichtsonde

GB/T 39518-2020 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) – Richtlinien für die Bewertung der Testunsicherheit von Koordinatenmessgeräten (KMG) für KMGs, die Tastsysteme mit Einzel- und Mehrfachstiftkontakt verwenden

Association Francaise de Normalisation, Kontakt-Dünnschichtsonde

NF EN ISO 18452:2016 Technische Keramik – Bestimmung der Dicke keramischer Schichten mit einem Kontaktprofilometer
NF A92-810*NF EN ISO 18452:2016 Feinkeramik (Hochleistungskeramik, technische Hochleistungskeramik) – Bestimmung der Dicke von Keramikfilmen mittels Kontaktsonden-Profilometer
NF A09-326:1987 Zerstörungsfreie Prüfung – Ultraschallprüfung – Verfahren zur Bewertung der Ultraschallstrahleigenschaften der Kontaktsonde
NF E05-031-605*NF EN ISO 25178-605:2014 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) – Oberflächentextur: flächig – Teil 605: Nenneigenschaften von berührungslosen Instrumenten (Punkt-Autofokus-Sonde).
NF A92-801-1:2003 Hochleistungskeramik – Prüfverfahren für keramische Beschichtungen – Teil 1: Bestimmung der Schichtdicke mittels Kontaktsondenfilometer.

British Standards Institution (BSI), Kontakt-Dünnschichtsonde

BS IEC 62899-202-3:2019 Gedruckte Elektronik – Materialien. Leitfähige Tinte. Messung des Schichtwiderstands leitfähiger Filme. Kontaktlose Methode
BS EN ISO 25178-602:2010 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) – Oberflächentextur – Fläche – Nominale Eigenschaften von berührungslosen Instrumenten (konfokale chromatische Sonde).
BS EN ISO 18452:2016 Feinkeramik (Hochleistungskeramik, technische Hochleistungskeramik). Bestimmung der Dicke von Keramikfilmen mittels Kontaktsonden-Profilometer
BS EN ISO 25178-605:2014 Geometrische Produktspezifikationen (GPS). Oberflächenbeschaffenheit: Fläche. Nominale Eigenschaften von berührungslosen Instrumenten (Punkt-Autofokus-Sonde).

American Society for Testing and Materials (ASTM), Kontakt-Dünnschichtsonde

ASTM F1844-97(2016) Standardpraxis zur Messung des Schichtwiderstands von Dünnschichtleitern für die Herstellung von Flachbildschirmen mithilfe eines berührungslosen Wirbelstrommessgeräts
ASTM F1844-97(2002) Standardpraxis zur Messung des Schichtwiderstands von Dünnschichtleitern für die Herstellung von Flachbildschirmen mithilfe eines berührungslosen Wirbelstrommessgeräts
ASTM F1844-97 Standardpraxis zur Messung des Schichtwiderstands von Dünnschichtleitern für die Herstellung von Flachbildschirmen mithilfe eines berührungslosen Wirbelstrommessgeräts
ASTM F1844-97(2008) Standardpraxis zur Messung des Schichtwiderstands von Dünnschichtleitern für die Herstellung von Flachbildschirmen mithilfe eines berührungslosen Wirbelstrommessgeräts
ASTM F374-00a Standardtestverfahren für den Schichtwiderstand epitaktischer, diffundierter, polykristalliner und ionenimplantierter Siliziumschichten unter Verwendung einer Inline-Vierpunktsonde mit dem Einzelkonfigurationsverfahren

International Organization for Standardization (ISO), Kontakt-Dünnschichtsonde

ISO 18452:2005 Feinkeramik (Hochleistungskeramik, technische Hochleistungskeramik) – Bestimmung der Dicke von Keramikfilmen mittels Kontaktsonden-Profilometer
ISO 25178-605:2014 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) – Oberflächenbeschaffenheit: Fläche – Teil 605: Nominale Eigenschaften von berührungslosen Instrumenten (Punkt-Autofokus-Sonde).
ISO/DIS 25178-602:2023 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) – Oberflächentextur: Fläche – Teil 602: Design und Eigenschaften von berührungslosen Instrumenten (konfokale chromatische Sonde).

European Committee for Standardization (CEN), Kontakt-Dünnschichtsonde

EN ISO 25178-605:2014 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) – Oberflächenbeschaffenheit: Fläche – Teil 605: Nenneigenschaften von berührungslosen Instrumenten (Punkt-Autofokus-Sonde) (ISO 25178-605:2014)
DD ENV 1071-1-1993 Hochentwickelte technische Keramik – Prüfmethoden für keramische Beschichtungen – Teil 1: Bestimmung der Beschichtungsdicke mit einem Kontaktsonden-Profilometer

Danish Standards Foundation, Kontakt-Dünnschichtsonde

DS/EN 1071-1:2003 Hochleistungskeramik – Prüfverfahren für keramische Beschichtungen – Teil 1: Bestimmung der Schichtdicke mittels Kontaktsondenfilometer
DS/EN ISO 10360-5:2010 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) – Abnahme- und Überprüfungsprüfungen für Koordinatenmessgeräte (KMG) – Teil 5: KMGs mit Einzel- und Mehrfachtastsystemen

Lithuanian Standards Office , Kontakt-Dünnschichtsonde

LST EN 1071-1-2003 Hochleistungskeramik – Prüfverfahren für keramische Beschichtungen – Teil 1: Bestimmung der Schichtdicke mittels Kontaktsondenfilometer

未注明发布机构, Kontakt-Dünnschichtsonde

DIN EN ISO 18452 E:2015-11 Precision ceramics (advanced ceramics, advanced industrial ceramics) Determination of ceramic coating thickness using contact probe profilometer (draft)