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SEMの使い方

SEMの使い方は全部で 19 項標準に関連している。

SEMの使い方 国際標準分類において、これらの分類：長さと角度の測定、機械的試験、分析化学、物理学、化学、光学および光学測定、塗料とワニス、空気の質。

ISO 11952:2014 表面化学分析走査型プローブ顕微鏡 SPM を使用した幾何学的量の決定: 測定システムの校正
ISO/WD TR 23683:2023 表面化学分析走査型プローブ顕微鏡電気走査型プローブ顕微鏡を使用した半導体デバイスのキャリア濃度の実験的定量化に関するガイド
ISO/TS 10798:2011 ナノテクノロジー: 走査型電子顕微鏡と X 線エネルギー分光法を使用したシングルアームカーボンナノチューブの特性評価。

BS ISO 11952:2019 表面化学分析走査型プローブ顕微鏡 SPM を使用した幾何学的量の決定: 測定システムの校正
DD ISO/TS 10798:2011 ナノテクノロジーでは、走査型電子顕微鏡とエネルギー分散型 X 線分光法を使用して、単層カーボンナノチューブの特性を評価します。

ASTM E2809-13 法医学塗料検査における走査型電子顕微鏡/X 線分光法の使用に関する標準ガイド
ASTM E280-98(2004)e1 法医学ポリマー検査における走査型電子顕微鏡/エネルギー分散型 X 線分光法 (SEM/EDS) の使用に関する標準ガイド
ASTM E2809-22 法医学ポリマー検査における走査型電子顕微鏡/エネルギー分散型 X 線分光法 (SEM/EDS) の使用に関する標準ガイド
ASTM E280-21 法医学ポリマー検査における走査型電子顕微鏡/エネルギー分散型 X 線分光法 (SEM/EDS) の使用に関する標準ガイド
ASTM E2090-06 光学顕微鏡および走査型電子顕微鏡を使用した、クリーンルームのワイパーから放出された粒子と繊維のサイズ区別計数のための標準的な試験方法
ASTM E2090-12(2020) 光学顕微鏡および走査型電子顕微鏡を使用した、クリーンルームのワイパーから放出された粒子と繊維のサイズ区別計数のための標準的な試験方法
ASTM E3284-23 走査型電子顕微鏡/エネルギー分散型 X 線分光法 (SEM/EDS) を使用したプライマー残基 (pGSR) の法医学的検査のトレーニングの標準的な実践方法

DIN SPEC 52407:2015-03 原子間力顕微鏡 (AFM) および透過型走査型電子顕微鏡 (TSEM) を使用した粒子測定のためのナノテクノロジーの準備および評価方法

DS/ISO/TS 10798:2011 ナノテクノロジーでは、走査型電子顕微鏡とエネルギー分散型 X 線分光法を使用して、単層カーボンナノチューブの特性を評価します。