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실리콘 웨이퍼 검사

모두 3항목의 실리콘 웨이퍼 검사와 관련된 표준이 있다.

국제 분류에서 실리콘 웨이퍼 검사와 관련된 분류는 다음과 같습니다: 씰, 씰링 장치, 반도체 소재.

Professional Standard - Electron, 실리콘 웨이퍼 검사

• SJ 1550-1979 실리콘 에피택셜 웨이퍼 검사 방법

American Society for Testing and Materials (ASTM), 실리콘 웨이퍼 검사

• ASTM F104-00 실리콘 웨이퍼의 얕은 에칭 피트 검사에 대한 표준 관행
• ASTM F1049-00 실리콘 웨이퍼의 얕은 에칭 피트 검사에 대한 표준 관행

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