BS EN ISO 14644-9:2022
跟踪更改 洁净室和相关的受控环境 评估颗粒浓度的表面清洁度
Tracked Changes. Cleanrooms and associated controlled environments. Assessment of surface cleanliness for particle concentration
- 标准号
- BS EN ISO 14644-9:2022
- 发布
- 2022年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS EN ISO 14644-9:2022
- 范围 本文件建立了评估洁净室和相关受控环境应用中固体表面颗粒清洁度水平的程序。 附件 A 至 D 中给出了有关测试和测量方法的建议以及有关表面特性的信息。 本文件适用于洁净室和相关受控环境中的所有固体表面，例如墙壁、天花板、地板、工作环境、工具、设备和产品。 通过颗粒浓度 (SCP) 评估表面清洁度的程序仅限于 0.05 µm 至 500 µm 之间的颗粒...