BS EN ISO 14644-9:2022
洁净室和相关的受控环境 评估颗粒浓度的表面清洁度
Cleanrooms and associated controlled environments. Assessment of surface cleanliness for particle concentration
BS EN ISO 14644-9:2022 发布历史
BS EN ISO 14644-9:2022由英国标准学会 GB-BSI 发布于 2022-07-31，并于 2022-07-31 实施。
BS EN ISO 14644-9:2022在国际标准分类中归属于: 13.040.35 清洁室（无菌室）及相关受控环境。
BS EN ISO 14644-9:2022 洁净室和相关的受控环境 评估颗粒浓度的表面清洁度的最新版本是哪一版？
最新版本是 BS EN ISO 14644-9:2022 。
BS EN ISO 14644-9:2022的历代版本如下：
- 2022年 BS EN ISO 14644-9:2022 洁净室和相关的受控环境 评估颗粒浓度的表面清洁度
- 2012年 BS EN ISO 14644-9:2012 洁净室和相关控制环境. 微粒浓度法进行表面洁净度分类
范围 本文件建立了评估洁净室和相关受控环境应用中固体表面颗粒清洁度水平的程序。 附件 A 至 D 中给出了有关测试和测量方法的建议以及有关表面特性的信息。 本文件适用于洁净室和相关受控环境中的所有固体表面，例如墙壁、天花板、地板、工作环境、工具、设备和产品。 通过颗粒浓度 (SCP) 评估表面清洁度的程序仅限于 0.05 µm 至 500 µm 之间的颗粒。 本文件不考虑以下问题： ——特定工艺的表面清洁度和适用性要求； ——表面清洁程序； ——材料特性； ——涉及通常与时间和过程相关的相互作用的结合力或生成过程； ——评估和测试统计方法的选择和使用；
BS EN ISO 14644-9:2022 是基于 EN ISO 14644-9 的发版本。
采用 EN ISO 14644-9 的发行版本有：
- BS EN ISO 14644-9:2012 洁净室和相关控制环境. 微粒浓度法进行表面洁净度分类
- BS EN ISO 14644-9:2022 洁净室和相关的受控环境 评估颗粒浓度的表面清洁度
- DIN EN ISO 14644-9:2008 洁净室和相关控制环境. 第9部分:微粒浓度法进行表面洁净度分类 (ISO/DIS 14644-9-2008); 德文版本prEN ISO 14644-9-2008
- DIN EN ISO 14644-9:2012 净化室和相关控制环境.第9部分:利用颗粒物浓度对表面洁净度的分类(ISO 14644-9-2012).德文版本EN ISO 14644-9-2012
- DIN EN ISO 14644-9:2022-10 洁净室和相关受控环境 第9部分：颗粒浓度表面清洁度评估
- LST EN ISO 14644-9:2012 洁净室和相关受控环境 第9部分：按颗粒浓度分类表面清洁度（ISO 14644-9:2012）
- NF EN ISO 14644-9:2022 洁净室和相关受控环境 - 第 9 部分：通过颗粒浓度评估表面清洁度
- NF X44-101-9*NF EN ISO 14644-9:2012 洁净室和相关控制环境. 第9部分: 采用颗粒浓度法对洁净度的分类.
- UNE-EN ISO 14644-9:2014 洁净室和相关受控环境 第9部分：按颗粒浓度分类表面清洁度（ISO 14644-9:2012）
- UNE-EN ISO 14644-9:2022 洁净室和相关受控环境 第9部分：颗粒浓度表面清洁度评估
