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RUTrichlorsilan
Für die Trichlorsilan gibt es insgesamt 12 relevante Standards.
In der internationalen Standardklassifizierung umfasst Trichlorsilan die folgenden Kategorien: Anorganische Chemie, Halbleitermaterial, Abfall, Chemikalien, analytische Chemie, Prüfung von Metallmaterialien.
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, Trichlorsilan
Yunnan Provincial Standard of the People's Republic of China, Trichlorsilan
- DB53/T 499-2013 Trichlorsilan für Polysilicium
- DB53/T 500-2013 Bestimmung des Trichlorsilan-Komponentengehalts für Polysilicium mittels Gaschromatographie
- DB53/T 501-2013 Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma zur Bestimmung des Trichlorsilan-Verunreinigungselementgehalts in Polysilicium
Professional Standard - Chemical Industry, Trichlorsilan
- HG/T 4683-2014 Behandlungs- und Entsorgungsmethode für verschüttetes Trichlorsilan
Group Standards of the People's Republic of China, Trichlorsilan
- T/QGCML 1421-2023 Spezifikationen für die Herstellung kupferbasierter Hydrierungskatalysatoren zur Umwandlung von Siliciumtetrachlorid in Trichlorsilan
工业和信息化部, Trichlorsilan
- YS/T 1059-2015 Bestimmung des Gesamtkohlenstoffs in Trichlorsilan für die Siliziumepitaxie mittels Gaschromatographie
- YS/T 1060-2015 Bestimmung anderer Chlorsilane in Trichlorsilan für die Siliziumepitaxie mittels Gaschromatographie