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삼염화실란

모두 12항목의 삼염화실란와 관련된 표준이 있다.

국제 분류에서 삼염화실란와 관련된 분류는 다음과 같습니다: 무기화학, 반도체 소재, 쓰레기, 화학 제품, 분석 화학, 금속 재료 테스트.

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, 삼염화실란

• GB/T 28654-2018 산업용 삼염화실란
• GB/T 28654-2012 산업용 삼염화실란
• GB 28654-2012 산업용 삼염화실란
• GB/T 30652-2023 실리콘 에피택시용 트리클로로실란
• GB/T 30652-2014 실리콘 에피택시용 트리클로로실란

Yunnan Provincial Standard of the People's Republic of China, 삼염화실란

• DB53/T 499-2013 다결정 실리콘용 트리클로로실란
• DB53/T 500-2013 가스 크로마토그래피를 통한 다결정 실리콘의 삼염화실란 성분 함량 측정
• DB53/T 501-2013 유도 결합 플라즈마 질량 분석법을 통한 다결정 실리콘의 삼염화실란 불순물 원소 함량 측정

Professional Standard - Chemical Industry, 삼염화실란

• HG/T 4683-2014 삼염화실란 누출 처리 방법

Group Standards of the People's Republic of China, 삼염화실란

• T/QGCML 1421-2023 사염화규소를 삼염화실란으로 전환하기 위한 구리 기반 수소화 촉매 제조에 대한 사양

工业和信息化部, 삼염화실란

• YS/T 1059-2015 가스 크로마토그래피를 통한 실리콘 에피택시를 위한 삼염화실란의 총 탄소 측정
• YS/T 1060-2015 가스 크로마토그래피를 통한 실리콘 에피택시를 위한 트리클로로실란 내 기타 클로로실란 측정

기타:   삼염화실란, 삼염화실란 후처리 방법.