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Für die SEM gibt es insgesamt 8 relevante Standards.
In der internationalen Standardklassifizierung umfasst SEM die folgenden Kategorien: Luftqualität, analytische Chemie.
British Standards Institution (BSI), SEM
- 18/30319114 DC BS ISO 20171. Mikrostrahlanalyse. Rasterelektronenmikroskopie. Markiertes Bilddateiformat für Rasterelektronenmikroskopie (TIFF/SEM)
Professional Standard - Commodity Inspection, SEM
- SN/T 4388-2015 Lederidentifizierung. Rasterelektronenmikroskopie und optische Mikroskopie
Japanese Industrial Standards Committee (JISC), SEM
- JIS K 3850-1:2006 Bestimmung luftgetragener Faserpartikel – Teil 1: Optische Mikroskopie-Methode und Rasterelektronenmikroskopie-Methode
- JIS K 3850-1:2000 Messverfahren für luftgetragene Faserpartikel – Teil 1: Optische Mikroskopie-Methode und Rasterelektronenmikroskopie-Methode
International Organization for Standardization (ISO), SEM
- ISO/WD TR 23683:2023 Chemische Oberflächenanalyse – Rastersondenmikroskopie – Leitfaden zur experimentellen Quantifizierung der Trägerkonzentration in Halbleiterbauelementen mithilfe der elektrischen Rastersondenmikroskopie
- ISO/TS 21383:2021 Mikrostrahlanalyse - Rasterelektronenmikroskopie - Qualifizierung des Rasterelektronenmikroskops für quantitative Messungen
American Society for Testing and Materials (ASTM), SEM
- ASTM E2090-00 Standardtestmethode zur größendifferenzierten Zählung von Partikeln und Fasern, die von Reinraumwischtüchern freigesetzt werden, mittels optischer und Rasterelektronenmikroskopie
- ASTM E2090-12 Standardtestmethode zur größendifferenzierten Zählung von Partikeln und Fasern, die aus Reinraumwischtüchern freigesetzt werden, mittels optischer und Rasterelektronenmikroskopie