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Elipsómetro de silicio

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General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, Elipsómetro de silicio

• GB/T 31225-2014 Método de prueba para el espesor del óxido de silicio sobre sustrato de Si mediante elipsómetro

Korean Agency for Technology and Standards (KATS), Elipsómetro de silicio

• KS B 4074-1972(2011) Sierras de corte

British Standards Institution (BSI), Elipsómetro de silicio

• BS EN ISO 23131:2022 Elipsometría. Principios

Association Francaise de Normalisation, Elipsómetro de silicio

• NF EN ISO 23131:2022 Elipsometría - Principios

German Institute for Standardization, Elipsómetro de silicio

• DIN EN ISO 23131:2023-01 Elipsometría - Principios (ISO 23131:2021); Versión alemana EN ISO 23131:2022

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