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X線電子分光法

X線電子分光法は全部で 76 項標準に関連している。

X線電子分光法 国際標準分類において、これらの分類：分析化学、非破壊検査、総合電子部品、光学および光学測定、電気、磁気、電気および磁気測定、半導体材料、長さと角度の測定。

German Institute for Standardization, X線電子分光法

DIN ISO 16129:2020-11 表面化学分析 X 線光電子分光法 X 線光電子分光装置の日常的な性能評価手順
DIN ISO 16129:2020 表面化学分析 X 線光電子分光法 - X 線光電子分光計の日常的な性能を評価する手順 (ISO 16129-2018)、英語テキスト
DIN ISO 15472:2020-05 表面化学分析 - X 線光電子分光計 - エネルギースケール校正 (ISO 15472:2010)
DIN ISO 15472:2020 表面化学分析用 X 線光電子分光計のエネルギー標準の校正 (ISO 15472:2010)、英語テキスト

British Standards Institution (BSI), X線電子分光法

BS ISO 16129:2018 表面化学分析 X 線光電子分光法 X 線光電子分光装置の日常的な性能評価手順
BS ISO 16129:2012 表面化学分析 X 線光電子分光法 X 線光電子分光装置の日常的な性能評価手順
BS ISO 19830:2015 表面化学分析、電子分光法、X 線光電子分光法ピークフィッティングの最小レポート要件
BS ISO 10810:2019 表面化学分析 X 線光電子分光分析ガイド
BS ISO 10810:2010 表面化学分析、X線光電子分光分析、分析ガイド
BS ISO 20903:2019 表面化学分析オージェ電子分光法および X 線光電子分光法ピーク強度の決定方法と結果報告時に必要な情報
BS ISO 14701:2018 表面化学分析 X線光電子分光分析シリコン酸化膜厚測定
BS ISO 14701:2011 表面化学分析、X線光電子分光法、シリカ厚さ測定
BS ISO 16243:2011 表面化学分析 X 線光電子分光法 (XPS) によるデータの記録と報告
BS ISO 18118:2015 表面化学分析オージェ電子分光法および X 線光電子分光法実験的に決定された相対感度係数を使用した均質材料の定量分析のガイド
BS ISO 21270:2004 表面化学分析 X 線光電子分光計およびオージェ電子分光計の強度スケールの直線性
23/30461294 DC BS ISO 18118 表面化学分析実験的に決定された相対感度係数を使用したオージェ電子分光法および X 線光電子分光法を使用した均質材料の定量分析のためのガイド

International Organization for Standardization (ISO), X線電子分光法

ISO 16129:2018 表面化学分析 - X 線光電子分光法 - X 線光電子分光計の日常的な性能を評価する方法
ISO 16129:2012 表面化学分析 X 線光電子分光法 X 線光電子分光装置の日常的な性能評価手順
ISO 19830:2015 表面化学分析、電子分光法、X 線光電子分光法ピークフィッティングの最小レポート要件
ISO 10810:2019 表面化学分析 - X 線光電子分光分析ガイド
ISO 10810:2010 表面化学分析、X線光電子分光法、分析ガイドライン
ISO/CD TR 18392:2023 表面化学分析 X 線光電子分光法バックグラウンド測定手順
ISO 14701:2018 表面化学分析 - X線光電子分光法 - シリコン酸化膜厚測定
ISO 14701:2011 表面化学分析、X 線光電子分光法、二酸化ケイ素の厚さの測定。
ISO 13424:2013 表面化学分析―X線光電子分光法、薄膜分析結果報告
ISO/TR 19319:2003 表面化学分析オージェ電子分光法および X 線光電子分光法横方向分解能、分析領域およびサンプル領域の分析者の目視検査
ISO 15470:2017 表面化学分析、X 線光電子分光法、機器の性能パラメーターの説明
ISO 16243:2011 表面化学分析 X 線光電子分光法 (XPS) によるデータの記録と報告
ISO 21270:2004 表面化学分析 X線光電子分光装置とオージェ電子分光装置強度スケールの直線性
ISO/DIS 18118:2023 表面化学分析オージェ電子分光法および X 線光電子分光法実験的に決定された相対感度係数を使用した均質材料の定量分析のガイド
ISO/FDIS 18118:2023 表面化学分析 - オージェ電子分光法および X 線光電子分光法 - 実験的に決定された相対感度係数を使用した均質材料の定量分析のガイド
ISO 20903:2019 表面化学分析 - オージェ電子分光法および X 線光電子分光法 - ピーク強度と結果報告時に必要な情報を決定するために使用される方法

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会, X線電子分光法

GB/T 41073-2021 表面化学分析の基本要件電子エネルギー分光法 X 線光電子分光法ピークフィッティングレポート
GB/T 36401-2018 表面化学分析報告書 X線光電子分光法による薄膜分析結果

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, X線電子分光法

GB/T 25184-2010 X線光電子分光装置による識別方法
GB/T 28632-2012 表面化学分析、オージェ電子分光法および X 線光電子分光法、横方向分解能測定
GB/T 19500-2004 X線光電子分光分析法の一般原理
GB/T 31470-2015 オージェ電子分光法およびX線光電子分光法検査における検出信号に対応する試料面積を決める一般則
GB/T 30704-2014 表面化学分析 X 線光電子分光分析ガイド
GB/T 28893-2012 表面化学分析、オージェ電子分光法および X 線光電子分光法、ピーク強度の決定方法および結果報告に必要な情報
GB/Z 32490-2016 表面化学分析のためのX線光電子分光法を使用したバックグラウンド測定手順
GB/T 22571-2008 表面化学分析 X線光電子分光装置エネルギースケールの校正
GB/T 29556-2013 表面化学分析オージェ電子分光法およびX線光電子分光法分析装置で検出できる横分解能、分析領域およびサンプル領域の決定
GB/T 28892-2012 表面化学分析 X 線光電子分光法選択された機器の性能パラメーターの表現
GB/T 21006-2007 表面化学分析 X 線光電子分光計およびオージェ電子分光計の強度スケールの直線性
GB/T 30702-2014 表面化学分析均質材料の定量分析におけるオージェ電子分光法および X 線光電子分光法の実験的に決定された相対感度係数の使用に関するガイド
GB/T 25188-2010 X線光電子分光法によるシリコンウェーハ表面の極薄酸化シリコン層の厚さの測定
GB/T 28633-2012 表面化学分析、X 線光電子分光法、強度スケールの再現性と一貫性

American Society for Testing and Materials (ASTM), X線電子分光法

ASTM E996-10(2018) オージェ電子分光法および X 線光電子分光法でデータを報告するための標準的な方法
ASTM E996-19 オージェ電子分光法および X 線光電子分光法でデータを報告するための標準的な方法
ASTM E995-16 オージェ電子分光法および X 線光電子分光法におけるバックグラウンド減算技術の標準ガイド
ASTM E995-11 オージェ電子分光法および X 線光電子分光法におけるバックグラウンド除去技術の適用に関する標準ガイド
ASTM E996-04 オージェ電子分光計および X 線光電子分光法からのデータを報告するための標準的な方法
ASTM E996-10 オージェ電子分光計および X 線光電子分光法からのデータを報告するための標準的な方法
ASTM E2735-14(2020) X線光電子分光法に必要なキャリブレーションを選択するための標準ガイド
ASTM E2108-16 X線光電子分光計の電子結合エネルギースケールの標準的な手法
ASTM E902-94(1999) X線光電子分光装置の動作特性を確認するための標準的な方法
ASTM E1523-97 X線光電子分光法における電荷制御および電荷参照技術の標準ガイド
ASTM E1523-15 X線光電子分光法における電荷制御および電荷参照技術の標準ガイド

Professional Standard - Electron, X線電子分光法

SJ/T 10458-1993 オージェ電子分光法およびX線光電子分光法におけるサンプルハンドリングの標準ガイド
SJ/T 10714-1996 X線光電子分光装置の動作特性を確認する標準的な方法

未注明发布机构, X線電子分光法

BS ISO 18516:2006(2010) 表面化学分析オージェ電子分光法およびX線光電子分光法の横方向分解能の測定
BS ISO 21270:2004(2010) 表面化学分析X線光電子分光装置およびオージェ電子分光装置強度スケールの直線性

Association Francaise de Normalisation, X線電子分光法

NF X21-071:2011 表面化学分析、X線光電子分光法、分析ガイドライン
NF X21-073*NF ISO 16243:2012 表面化学分析 X 線光電子分光法 (XPS) によるデータの記録と報告
NF ISO 16243:2012 表面化学分析 X 線光電子分光法 (XPS) でのデータロギングとレポート

Korean Agency for Technology and Standards (KATS), X線電子分光法

KS D ISO 19319-2005(2020) 表面化学分析 - オージェ電子分光法および X 線光電子分光法 - 分析装置の横方向分解能、分析領域およびサンプル領域の決定
KS D ISO 15470-2005(2020) 表面化学分析用のX線光電子分光計のいくつかの性能パラメータの説明
KS D ISO 19319:2005 表面化学分析オージェ電子分光法および X 線光電子分光法横方向分解能、分析領域およびサンプル領域の分析者の目視検査
KS D ISO 18118-2005(2020) 表面化学分析における均質材料の定量分析のための実験的に決定された相対感度係数の使用に関するガイドラインオージェ電子分光法および X 線光電子分光法
KS D ISO 21270:2005 表面化学分析 X線光電子分光装置とオージェ電子分光装置強度スケールの直線性
KS D ISO 21270-2005(2020) 表面化学分析 X線光電子分光装置およびオージェ電子分光装置の強度スケールの直線性
KS D ISO 19318-2005(2020) 表面化学分析 X線光電子分光法帯電制御・帯電補正法レポート

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会, X線電子分光法

GB/T 22571-2017 表面化学分析用X線光電子分光装置のエネルギースケールの校正

KR-KS, X線電子分光法

KS D ISO 15472-2003(2023) 表面化学分析・X線光電子分光装置・エネルギースケールの校正

Group Standards of the People's Republic of China, X線電子分光法

T/CSTM 01199-2024 多層金属薄膜の層構造測定・解析方法 X線光電子分光法