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シリコンウェーハのスペクトル

シリコンウェーハのスペクトルは全部で 130 項標準に関連している。

シリコンウェーハのスペクトル 国際標準分類において、これらの分類：分析化学、金属材料試験、半導体材料、合金鉄、光学機器、非鉄金属、粉末冶金、皮革技術、食品の検査と分析の一般的な方法、絶縁流体、非金属鉱物、集積回路、マイクロエレクトロニクス、太陽工学、用語（原則と調整）、ブラックメタル、セラミックス、環境を守ること、水質、化学製品、導体材料。

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会, シリコンウェーハのスペクトル

GB/T 40110-2021 表面化学分析全反射蛍光 X 線分析 (TXRF) によるシリコンウェーハ表面の元素汚染の測定
GB/T 12964-2018 シリコン単結晶研磨ウェーハ
GB/T 19921-2018 シリコン研磨ウェーハの表面パーティクルの試験方法
GB/T 40312-2021 波長分散型蛍光X線分析法（キャストガラス板法）によるリン、鉄、リン、ケイ素、マンガン、チタンの含有量の測定
GB/T 5687.13-2021 波長分散型蛍光X線分析法（キャストガラス板法）によるフェロクロム、シリコン、マンガン、チタン、バナジウム、鉄の含有量の測定
GB/T 40279-2021 光反射法によるシリコンウェーハ表面の膜厚測定
GB/T 4333.8-2022 フレーム原子吸光分析によるカルシウムフェロシリコン含有量の測定

British Standards Institution (BSI), シリコンウェーハのスペクトル

BS ISO 14706:2000 表面化学分析全反射蛍光 X 線 (TXRF) 分光法を使用したシリコンウェーハ表面の元素汚染物質の測定
BS ISO 14706:2014 表面化学分析全反射蛍光 X 線 (TXRF) 分光法を使用したシリコンウェーハ表面の元素汚染物質の測定
BS ISO 14706:2001 表面化学分析全反射蛍光 X 線 (TXRF) 分光法を使用したシリコンウェーハ表面の元素汚染物質の測定
BS 7012-6:1998 光学顕微鏡用分光フィルターの仕様

Korean Agency for Technology and Standards (KATS), シリコンウェーハのスペクトル

KS D ISO 14706:2003 表面化学分析全反射蛍光X線分析法を使用したシリコンウェーハ表面の主な汚染物質の測定
KS E 3076-2017 珪石及び珪砂の蛍光X線分光分析法
KS E 3076-2022 珪石及び珪砂の蛍光X線分光分析法
KS M ISO 5400-2012(2022) 還元ケイモリブデン酸分光分析による皮革中の総ケイ素含有量の測定
KS M ISO 5400:2012 皮革総ケイ素含有量の測定還元ケイ素モリブデン酸分光分析法
KS D 1683-2004 発光分光法は、画像がどれだけ離れているかを測定する方法です
KS D ISO 4139-2002(2017) フェロシリコン - アルミニウム含有量の測定 - フレーム原子吸光分析
KS D 0078-2008(2018) 不純物濃度を測定するためのシリコン結晶のフォトルミネッセンス分光法の試験方法

American Society for Testing and Materials (ASTM), シリコンウェーハのスペクトル

ASTM F1619-95(2000) ブリュースター角で入射する p 偏光を使用した赤外吸収分光法によるシリコンウェーハの格子間酸素含有量の測定のための標準的な試験方法
ASTM F1727-97 研磨されたシリコンウェーハの酸化誘発欠陥を検出するための標準的な手法

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, シリコンウェーハのスペクトル

GB/T 24578-2015 全反射蛍光X線分光法によるシリコンウェーハ表面の金属汚染検査方法
GB/T 24578-2009 全反射蛍光X線分光法によるシリコンウェーハ表面の金属汚染検査方法
GB/T 12964-2003 シリコン単結晶研磨ウェーハ
GB/T 29506-2013 300mmシリコン単結晶研磨ウェーハ
GB/T 25188-2010 X線光電子分光法によるシリコンウェーハ表面の極薄酸化シリコン層の厚さの測定
GB/T 26601-2011 顕微鏡.スペクトルフィルター
GB/T 30656-2014 炭化珪素単結晶研磨ウェハ
GB/T 30656-2023 炭化珪素単結晶研磨ウェハ
GB/T 26065-2010 シリコン単結晶研磨試験片仕様
GB/T 17169-1997 シリコン研磨ウェーハおよびエピタキシャルウェーハの表面品質の光反射試験方法
GB/T 19921-2005 シリコン研磨ウェーハの表面パーティクルの試験方法
GB/T 29055-2019(英文版) 太陽電池用多結晶シリコンウェーハ
GB/T 42789-2023 シリコンウェーハの表面光沢度の試験方法
GB/T 14140.1-1993 シリコンウェーハ径測定法光学投影法
GB/T 6621-1995 シリコン研磨ウェーハの表面平坦度試験方法
GB/T 5686.9-2023 波長分散型蛍光X線分析法（キャストガラス板法）によるフェロマンガン、マンガン-ケイ素合金、窒化フェロマンガン、金属マンガン-マンガン、ケイ素、リン、鉄の含有量の定量
GB/T 6624-1995 シリコン研磨ウェーハの表面品質を目視検査する方法
GB/T 6624-2009 シリコン研磨ウェーハの表面品質を目視検査する方法
GB/T 4058-1995 研磨後のシリコンウェーハの酸化欠陥検査方法
GB/T 4058-2009 研磨後のシリコンウェーハの酸化欠陥検査方法
GB/T 32281-2015 二次イオン質量分析によるソーラーグレードシリコンウェーハおよび材料中の酸素、炭素、ホウ素、リンの測定
GB/T 24577-2009 昇温脱離ガスクロマトグラフィーによるシリコンウェーハ表面の有機汚染物質の定量
GB/T 31351-2014 炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハのマイクロチューブ密度の非破壊検査法
GB/T 42902-2023 炭化珪素エピタキシャルウェーハの表面欠陥検査のためのレーザー散乱法
GB/T 30701-2014 表面化学分析: 化学物質収集法と全反射蛍光 X 線分析 (TXRF) によるシリコンウェーハ作業標準サンプルの表面元素の測定

Professional Standard - Non-ferrous Metal, シリコンウェーハのスペクトル

YS/T 985-2014 シリコン研磨リサイクルフレーク

Professional Standard - Machinery, シリコンウェーハのスペクトル

JB/T 5590-1991 分光装置用フィルター
JB/T 9334-1999 顕微鏡用分光フィルター基本仕様

Group Standards of the People's Republic of China, シリコンウェーハのスペクトル

T/CPIA 0037-2022 太陽電池用結晶シリコンウェーハの仕様
T/ZPP 016-2022 太陽電池シリコンウェーハの脱ガムと挿入の統合に関する技術要件
T/IAWBS 005-2018 6インチ炭化ケイ素単結晶研磨ディスク
T/IAWBS 005-2024 6～8インチ炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハ
T/CQCAA 0005-2020 原子蛍光分析によるシリカ中の水銀の測定
T/ZZB 0648-2018 200 mm 高濃度リンドープチョクラルスキーシリコン単結晶研磨ウェーハ
T/NXCL 017-2022 300 mm 高濃度リンドープチョクラルスキーシリコン単結晶研磨ウェーハ
T/NXCL 016-2022 200 mm 高アンチモンドープチョクラルスキーシリコン単結晶研磨ウェーハ
T/CPIA 0038-2022 太陽光発電シリコンウェーハ切断用の電気めっきダイヤモンドワイヤ
T/CPIA 0022-2020 太陽光発電シリコンウェーハ製造業界のグリーンファクトリー評価要件
T/ICMTIA SM0027-2022 高度なストレージ技術用の 300mm p 型シリコン単結晶研磨ウェーハ
T/CPIA 0021-2020 グリーンデザイン製品評価用太陽電池シリコンウェーハの技術仕様
T/IAWBS 014-2021 炭化珪素単結晶研磨ウェーハの転位密度の試験方法
T/SQIA 057-2023 結晶シリコン太陽電池の二酸化炭素排出量評価の技術要件
T/CSTM 00061-2018 フレーム原子吸光分析によるニッケル合金中のシリコン含有量の測定

工业和信息化部, シリコンウェーハのスペクトル

YB/T 4780-2019 波長分散型蛍光X線分析法（キャストガラス板法）によるカルシウムシリコン合金中のシリコン、カルシウム、アルミニウム含有量の測定
SJ/T 11629-2016 太陽電池用シリコンウェーハおよびセルのオンラインフォトルミネッセンス分析方法
YB/T 4907-2021 波長分散型蛍光X線分析法によるフェロマンガン、マンガン-ケイ素合金、金属マンガンのマンガン、ケイ素、鉄、リンの含有量の測定

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会, シリコンウェーハのスペクトル

GB/T 4333.5-2016 波長分散型蛍光X線分析法（キャストガラス板法）によるフェロシリコン、マンガン、アルミニウム、カルシウム、クロム、鉄の含有量の測定
GB/T 33236-2016 グロー放電質量分析法による多結晶シリコンの微量元素化学分析

Professional Standard - Electron, シリコンウェーハのスペクトル

SJ/T 11502-2015 炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハの仕様
SJ/T 11868-2022 シリコン基板ブルーパワー発光ダイオードチップの詳細仕様
SJ/T 11869-2022 シリコン基板白色光パワー発光ダイオードチップの詳細仕様
SJ 3198-1989 真空シリコン・アルミニウム合金中のシリコン、鉄、マグネシウム、銅の発光スペクトル分析法
SJ/T 11867-2022 シリコン基板青色光低消費電力発光ダイオードチップの詳細仕様
SJ/T 11504-2015 炭化珪素単結晶研磨ウェーハの表面品質試験方法
SJ/Z 3206.5-1989 分光化学分析用感光板およびフィルムの写真処理方法
SJ/T 11503-2015 炭化珪素単結晶研磨ウェーハの表面粗さの試験方法

中国有色金属工业总公司, シリコンウェーハのスペクトル

YS/T 25-1992 シリコン研磨ウェーハ表面洗浄方法

Association Francaise de Normalisation, シリコンウェーハのスペクトル

NF A07-520:1971 アルミニウム-シリコンおよびアルミニウム-シリコン-銅合金の発光スペクトル分析
NF T90-007:2001 水質可溶性ケイ酸塩含有量の測定分子吸光分析法
NF T77-152:1987 工業用アルカリ性シリコーン樹脂ケイ素含有量の測定（ケイ素含有量1％（m/m）未満）原子吸光分析法

RU-GOST R, シリコンウェーハのスペクトル

GOST 16412.9-1991 鉄粉、ケイ素とマンガンの分光測定
GOST 9853.6-1979 分光法によるスポンジチタンシリコン、鉄、ニッケルの定量
GOST 18385.2-1979 ニオブ：ケイ素、チタン、鉄含有量の分光測定
GOST 23687.2-1979 銅ベリリウム合金マグネシウム、鉄、アルミニウム、シリコン鉛の分光分析
GOST 851.10-1993 第一級マグネシウムケイ素、鉄、ニッケル、アルミニウム、銅、マンガン含有量の分光測定
GOST 851.10-1987 一次マグネシウム、シリコン、鉄、ニッケル、アルミニウム、銅、マンガン含有量の分光測定

GOSTR, シリコンウェーハのスペクトル

GOST 9853.23-1996 スポンジチタンシリコン、鉄、ニッケルの分光測定

Hebei Provincial Standard of the People's Republic of China, シリコンウェーハのスペクトル

DB13/T 5091-2019 波長分散型蛍光X線分析法（キャストガラス板法）によるフェロマンガン、マンガンシリコン、窒化フェロマンガン、金属マンガンシリコン、マンガン、リンの含有量の測定

IT-UNI, シリコンウェーハのスペクトル

UNI 7237-1973 写真。感光性露光用の光源。太陽光の分光分布シミュレーション
UNI 7238-1973 写真。感光性露光用の光源。タングステン照明の分光分布シミュレーション
UNI 7239-1973 写真。感光性露光用の光源。写真用投光器を用いた分光分布シミュレーション

AENOR, シリコンウェーハのスペクトル

UNE 59027:1988 皮革中の総ケイ素含有量の測定還元ケイモリブデン酸分析
UNE 35056-1:1983 フレーム原子吸光分析によるフェロシリコンとアルミニウムの含有量の測定

ES-UNE, シリコンウェーハのスペクトル

UNE 59027:1988 ERRATUM 皮革中の総ケイ素含有量の測定還元ケイ酸モリブデン分光分析

Professional Standard - Commodity Inspection, シリコンウェーハのスペクトル

SN/T 0770-1999 輸出されたカーボンフレークグラファイト中のシリカの測定シリコンモリブデンブルー分光光度法
SN/T 2489-2010 銑鉄中のクロム、マンガン、リン、シリコンの定量光電子発光分析
SN/T 2749-2010 波長分散型蛍光X線分析法による希土類フェロシリコン合金中のマンガン、シリコン、アルミニウム、カルシウム、チタンの定量
SN/T 2950-2011 蛍光X線分析による、輸出された希土類マグネシウムフェロシリコン中のシリコン、アルミニウム、カルシウム、鉄、リン、クロム、チタン含有量の測定
SN/T 3604-2013 蛍光X線分析による亜鉛精鉱中の銅、ケイ素、マグネシウム、亜鉛、アルミニウム、鉄含有量の測定

International Organization for Standardization (ISO), シリコンウェーハのスペクトル

ISO 5400:1984 皮革中のケイ素含有量の測定 - 還元ケイモリブデン酸分光分析
ISO 9502:1993 還元ケイモリブデン酸分光分析による冶金蛍石中のケイ素含有量の測定
ISO 5438:1993 還元ケイモリブデン酸分光分析による酸性およびセラミック蛍石中のケイ素含有量の測定
ISO 9502:1989 冶金グレードの蛍石、シリカ含有量の測定、還元ケイモリブデン酸塩分光分析法

YU-JUS, シリコンウェーハのスペクトル

JUS H.B8.091-1980 天然および人工の氷晶石。シリコン含有量の測定。還元ケイモリブデン酸分光法

European Committee for Standardization (CEN), シリコンウェーハのスペクトル

CEN/TR 10354:2011 鉄金属材料の化学分析フェロシリコン分析蛍光X線分析分析シリコンとアルミニウムの定量
PD CEN/TR 10354:2011 鉄系材料の化学分析フェロシリコンの分析蛍光X線分析によるシリコンとアルミニウムの定量

Defense Logistics Agency, シリコンウェーハのスペクトル

DLA SMD-5962-87729 REV E-2006 シリコンモノリシック 8 線マルチプレクサ発光デジタルマイクロ回路
DLA SMD-5962-87752 REV C-2006 シリコンモノリシック発光位相周波数検出器デジタルマイクロ回路
DLA SMD-5962-87792 REV B-2005 シリコンモノリシックマルチプレクサ照明付きデジタルマイクロ回路
DLA SMD-5962-94622 REV A-2011 マイクロ回路、リニア、ランプドライバー、蛍光灯、モノリシックシリコン
DLA SMD-5962-88527 REV B-2001 シリコンモノリシック8ラインマルチプレクサ発光デジタルマイクロ回路
DLA SMD-5962-88560 REV B-2006 シリコンモノリシック64ビットメモリ発光デジタルストレージマイクロ回路
DLA SMD-5962-94622-1994 シリコンモノリシック、蛍光表示灯ドライバー、リニアマイクロ回路
DLA SMD-5962-87730 REV B-1991 シリコンモノリシック 4 ウェイまたは反転チャネル発光デジタルマイクロ回路
DLA SMD-5962-87751 REV A-2007 シリコンシングルチップカウンタ制御ロジック発光デジタルマイクロ回路
DLA SMD-5962-87773 REV B-2007 シリコンモノリシック単極多周波発振器発光デジタルマイクロ回路
DLA SMD-5962-88577 REV C-2001 シリコンモノリシック 3 入力または変換チャネル照明デジタルマイクロ回路
DLA DSCC-VID-V62/03638 REV B-2008 マイクロ回路、フラッシュ付きリニア差動コンパレータ、モノリシックシリコン

Japanese Industrial Standards Committee (JISC), シリコンウェーハのスペクトル

JIS H 0615:2021 フォトルミネッセンス分光法によるシリコン結晶中の不純物濃度の測定方法
JIS H 0615:1996 フォトルミネッセンス分光法によるシリコン結晶中の不純物濃度の測定方法

PL-PKN, シリコンウェーハのスペクトル

PN C04348-1970 分光法による灰中のケイ素、アルミニウム、鉄、カルシウム、マグネシウムの測定

Society of Motion Picture and Television Engineers (SMPTE), シリコンウェーハのスペクトル

SMPTE ST 117M-2001 スペクトル拡散密度を記録するフィルム写真
SMPTE RP 180-1999 映画のネガおよび中間フィルムのプリント濃度を決定するスペクトル条件

Military Standard of the People's Republic of China-General Armament Department, シリコンウェーハのスペクトル

GJB 2918A-2017 検出器グレードの高抵抗ゾーンにおける溶融シリコン単結晶の研磨ウェーハの仕様

RO-ASRO, シリコンウェーハのスペクトル

SR ISO 4139:1995 フェロシリコン。アルミニウム含有量の測定。炎の原子吸光分析
STAS 11359/8-1980 国内の硫黄鉱石および精鉱中のアルミニウム、カルシウム、マグネシウム、鉄、ケイ素のスペクトル分析

Professional Standard - Ferrous Metallurgy, シリコンウェーハのスペクトル

YB/T 5159-2007 高純度黒鉛製品中のケイ素と鉄の分光分析粉末法
YB/T 5159-1993 高純度黒鉛製品中のケイ素と鉄の分光分析粉末法

Professional Standard - Aviation, シリコンウェーハのスペクトル

HB 7716.12-2002 チタン合金の化学組成のスペクトル分析法第12回フレーム原子吸光分析法シリコン含有量の測定