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단결정 실리콘을 검출하는 방법

모두 4항목의 단결정 실리콘을 검출하는 방법와 관련된 표준이 있다.

국제 분류에서 단결정 실리콘을 검출하는 방법와 관련된 분류는 다음과 같습니다: 금속 재료 테스트, 반도체 소재.

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, 단결정 실리콘을 검출하는 방법

• GB/T 31351-2014 탄화규소 단결정 연마 웨이퍼의 마이크로튜브 밀도에 대한 비파괴 검사 방법

Group Standards of the People's Republic of China, 단결정 실리콘을 검출하는 방법

• T/IAWBS 010-2019 탄화규소 단결정 연마 웨이퍼의 표면 품질 및 마이크로튜브 밀도 검출 방법 - 레이저 산란 검출 방법

German Institute for Standardization, 단결정 실리콘을 검출하는 방법

• DIN 50443-1:1988 반도체 공정에 사용되는 재료 검사 1부: X선 프로파일로법을 통한 반도체 단결정 실리콘의 결정 결함 및 불균일 검출
• DIN 50434:1986 반도체 공정 재료 검사 (111) 및 (100) 표면 식각 기법을 이용한 단결정 실리콘의 결정 구조 결함 확인

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