ASTM F996-11(2018)由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 2018-03-01。
ASTM F996-11(2018)在国际标准分类中归属于: 31.080.30 三极管。
* 在 ASTM F996-11(2018) 发布之后有更新,请注意新发布标准的变化。
1.1 本测试方法涵盖使用亚阈值电荷分离技术来分析金属氧化物半导体场效应晶体管 (MOSFET) 中的栅极电介质和寄生 MOSFET 中的隔离电介质的电离辐射退化。2,3,4亚阈值技术用于将电离辐射引起的反转电压偏移 ΔVINV 分离为由于氧化物捕获电荷 ΔVot 和界面陷阱 ΔV it 引起的电压偏移。该技术利用 MOSFET 亚阈值区域中辐照前和辐照后的漏源电流与栅极电压特性。
1.2 给出了测量 MOSFET 亚阈值电流-电压特性和计算结果的程序。
1.3 本测试方法的应用要求MOSFET具有衬底(体)接触。
1.4 辐照前和辐照后 MOSFET 亚阈值源极或漏极曲线必须遵循对栅极电压的指数依赖关系(至少 20 个电流)。
1.5 以 SI 单位表示的值应被视为标准值。本标准不包含其他计量单位。
1.6 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题(如果有)。本标准的使用者有责任建立适当的安全、健康和环境实践,并在使用前确定监管限制的适用性。
1.7 本国际标准是根据世界贸易组织贸易技术壁垒(TBT)委员会发布的《关于制定国际标准、指南和建议的原则的决定》中确立的国际公认的标准化原则制定的。
这个晶体管处于常关状态,由线形图可推算出阈值电压为7V。增强型β-Ga2O3MOSFET由栅槽工艺实现。晶体管开/关电流比约为108,阈下摆幅为250mV/dec,由此表明此制备的晶体管拥有很好的场效应晶体管特性。当此器件被254nm以下深紫外光光照射时,在关闭状态下,漏-源电流IDS电流增长了将近六个数量级。更宽的有效操作窗口被基于增强型的晶体管成功地实现。...
闩锁状态下器件在电源与地之间形成短路,造成大电流、过电应力和器件损坏通信接口集成电路的闩锁失效(5)热载流子效应(Hot Carrier Injection栅极电压Vg小于漏极电压Vd时,栅极绝缘膜下的沟道被夹断,漏极附近电场增高;源极流经此区的电子成为热电子,碰撞增多---漏极雪崩热载流子;注入栅极二氧化硅膜中,使其产生陷阱和界面能级,阈值电压增加,氧化层电荷增加或波动不稳,器件性能退化(6)与时间相关的介质击穿...
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