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マイクロキャビティ干渉

マイクロキャビティ干渉は全部で 28 項標準に関連している。

マイクロキャビティ干渉 国際標準分類において、これらの分類：絶縁流体、金属材料試験、集積回路、マイクロエレクトロニクス、光学および光学測定、光学機器、半導体材料、長さと角度の測定、表面処理・メッキ、金属腐食。

National Metrological Verification Regulations of the People's Republic of China, マイクロキャビティ干渉

JJG 77-1983 干渉顕微鏡の校正手順
JJG 77-2006 干渉顕微鏡の校正手順

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, マイクロキャビティ干渉

GB/T 14145-1993 干渉位相差顕微鏡によるシリコンエピタキシャル層の積層欠陥密度の測定
GB/T 43313-2023 共焦点微分干渉法を使用した炭化ケイ素研磨ウェーハの表面品質とマイクロチューブ密度の検査
GB/T 33523.603-2022 幾何製品仕様書 (GPS) 表面構造面積法パート 603: 非接触 (位相シフト干渉顕微鏡) 機器の公称特性

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会, マイクロキャビティ干渉

GB/T 34894-2017 微小電気機械システム（MEMS）技術光干渉に基づくMEMS微細構造ひずみ勾配測定法
GB/T 34893-2017 光干渉によるMEMS微細構造の面内長さ測定法に基づく微小電気機械システム(MEMS)技術
GB/T 34900-2017 微小電気機械システム（MEMS）技術：光干渉に基づくMEMS微細構造の残留ひずみ測定法

Association of German Mechanical Engineers, マイクロキャビティ干渉

VDI/VDE 2655 Blatt 1.1-2008 光学測定およびマイクロトポグラフィー干渉顕微鏡および粗さ測定の校正用の深さ測定標準

Group Standards of the People's Republic of China, マイクロキャビティ干渉

T/IAWBS 012-2019 炭化ケイ素単結晶研磨ウェーハの表面品質とマイクロチューブ密度の試験方法 - 共焦点微分干渉光学法

American Society for Testing and Materials (ASTM), マイクロキャビティ干渉

ASTM B588-88(1994) ダブルビーム干渉顕微鏡による透明または不透明コーティングの厚さを測定する試験方法
ASTM B588-88(2006) ダブルビーム干渉顕微鏡による透明または不透明コーティングの厚さを測定する試験方法
ASTM B651-83(2001) ダブルビーム干渉顕微鏡を使用して、ニッケル + クロムまたは銅 + ニッケル + クロム電気めっき表面の腐食領域を測定する試験方法
ASTM B651-83(1995) ダブルビーム干渉顕微鏡を使用して、ニッケル + クロムまたは銅 + ニッケル + クロム電気めっき表面の腐食領域を測定する試験方法
ASTM B651-83(2006) ダブルビーム干渉顕微鏡を使用して、ニッケル + クロムまたは銅 + ニッケル + クロム電気めっき表面の腐食領域を測定する試験方法
ASTM B651-83(2015) ダブルビーム干渉顕微鏡を使用して、ニッケル + クロムまたは銅 + ニッケル + クロム電気めっき表面の腐食領域を測定する試験方法
ASTM B588-88(2010) デュアルビーム干渉顕微鏡による透明または不透明コーティングの厚さを測定するための標準的な試験方法
ASTM B651-83(2010) ダブルビーム干渉顕微鏡を使用して、ニッケル + クロムまたは銅 + ニッケル + クロム電気めっき表面の腐食領域を測定するための標準的な試験方法
ASTM B588-88(2001) デュアルビーム干渉顕微鏡技術を使用して透明または不透明のコーティングの厚さを測定する標準的な試験方法
ASTM B651-83(2019) デュアルビーム干渉顕微鏡を使用した、ニッケルプラスクロムまたは銅-ニッケル-ニッケル-クロム電気めっき表面の腐食スポット測定の標準試験方法

British Standards Institution (BSI), マイクロキャビティ干渉

BS EN ISO 25178-603:2013 幾何学的製品仕様 (GPS)、表面テクスチャ: 表面、非接触 (位相シフト干渉計による顕微鏡検査) 機器の公称特性

International Organization for Standardization (ISO), マイクロキャビティ干渉

ISO/CD 25178-603 幾何学的製品仕様 (GPS) 表面テクスチャ: 平面セクション 603: 非接触 (位相シフト干渉顕微鏡) 機器の公称特性
ISO 25178-603:2013 製品の幾何学的仕様 (GPS) 表面テクスチャ面パート 603 非接触 (位相シフト干渉計の顕微鏡検査) 機器の公称特性

ES-UNE, マイクロキャビティ干渉

UNE-EN ISO 25178-603:2013 幾何学的製品仕様 (GPS) 表面テクスチャ: 面積パート 603: 非接触 (位相シフト干渉顕微鏡) 機器の公称特性

German Institute for Standardization, マイクロキャビティ干渉

DIN EN ISO 25178-603:2014-02 製品の幾何学的仕様 (GPS) 表面テクスチャ: エリアパート 603: 非接触 (位相シフト干渉顕微鏡) 機器の公称特性

European Committee for Standardization (CEN), マイクロキャビティ干渉

EN ISO 25178-603:2009 製品幾何学的仕様 (GPS)、表面テクスチャ: 面積、パート 603: 非接触 (位相シフト干渉顕微鏡) ツールの公称特性評価
EN ISO 25178-603:2013 製品幾何学的仕様 (GPS)、表面テクスチャ: 面積、パート 603: 非接触 (位相シフト干渉顕微鏡) ツールの公称特性評価

Association Francaise de Normalisation, マイクロキャビティ干渉

NF EN ISO 25178-603:2013 幾何製品仕様 (GPS) - 表面状態: 表面 - パート 603: 非接触機器の公称特性 (干渉縞スライド顕微鏡)